Restgasanalysesysteme
Mit dem OmniGrade bietet Pfeiffer Vacuum*) ein neues Restgasanalysesystem (RGA) an. Das Design des Systems wird so gewählt, dass es den spezifischen Prüfanforderungen entspricht. Pfeiffer-Vacuum-Experten erarbeiten die bestmögliche Lösung für diese Anforderungen unter Berücksichtigung der Gesamtkosten und der Vorlaufzeiten. Eine Konfiguration umfasst 2 oder 3 Kammern. In der Spektrometerkammer wird das Massenspektrometer, das entsprechend den Anforderungen (PrismaPro oder HiQuad) ausgewählt werden kann, positioniert. In der Messkammer werden die Proben während der Messung platziert. Eine Schleusenkammer zur Minimierung des Systemuntergrunds und des Probentransports durch ein automatisches Transfersystem ist optional erhältlich. Das System benötigt wenig Platz und ist in die neuesten Schnittstellen integrierbar. Zudem ist eine Reinraumkompatibilität möglich. Thermisches Heizen, entweder des reinen Systems oder zusammen mit der Probe (Bake-out), trägt zur weiteren Optimierung der Messfähigkeit und zur Verbesserung der Probenreinheit bei.
Laut Herstellerangaben wurde das RGA mit energieeffizienten Komponenten und fortschrittlichen Technologien ausgestattet, die Abfall und Emissionen reduzieren.
Das neue RGA-System von Pfeiffer Vacuum.
Verweise
| *) | Pfeiffer Vacuum Berliner Straße 43 35614 Aßlar |